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恒溫恒濕控制機

簡要描述:恒溫恒濕控制機在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環境對溫控的要求。該設備的應用,不僅確保了產線環境的穩定,更為產品的高良率提供了堅實保障。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-11-15
  • 訪  問  量:297
詳情介紹
品牌proteco/普泰克產地類別國產
應用領域環保,食品/農產品,化工,制藥/生物制藥,綜合

【設備特點】


1、精確溫濕度調控:確保曝光機、顯影/ 涂布設備等制程良率

2、定制化風量設計:根據客戶的具體需求,定制風量,送風單元結構均勻布置,確保空氣流通的均勻性,進一步提升制程質量。

3、超準溫度控制:溫度控制精度高達±0.01℃,遠超行業標準,為產線環境提供了穩定性,從而確保了產品的優良率。


【產品應用】


1、溫度控制精度:±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度:±2%RH~±1%RH

3、廣泛適用領域:該設備廣泛應用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠等精密溫濕度控制領域,助力企業提升產品質量,確保生產過程的穩定與高效。





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